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YOLOv5結合StyleGAN應用於晶圓缺陷檢測
張軒瑋 Hsuan-Wei Chang

最後修改日期: 2024-05-10

摘要


隨著電子技術的進步,半導體晶片需求持續增加,晶圓製程的缺陷檢測成為確保品質的關鍵。而傳統晶圓缺陷檢測人工耗時且容易出錯,利用深度學習模型自動檢測可提高效率和準確性,並降低誤判風險和成本。但實際現場資料收集困難,容易導致資料不平衡,進而影響模型訓練績效。本研究以晶圓缺陷資料集WM-811K為例,對其進行影像前處理、使用傳統影像增強方法與StyleGAN2-ADA生成對抗網路進行資料擴增並比較平衡前後檢測模型的績效。本研究的實驗結果顯示,平衡後的檢測模型績效對比平衡前的模型績效有明顯提升,而使用StyleGAN2-ADA生成對抗網路進行資料平衡的檢測模型達到最高精準度90.6%和召回率96.0%。